大族富创得:半导体晶圆/光罩/基板自动化传输系统整体解决方案及核心组件提供商了解更多 >
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公司简介

上海大族富创得科技股份有限公司前身是由美国富创得工程公司(Fortrend Engineering Corporation)投资的外商独资企业富创得科技(沈阳)有限公司,于2016年被大族激光科技产业集团股份有限公司收购成为大族激光子公司,其后由上海大族富创得再次反向收购美国富创得工程公司,并于2017年3月入驻上海市闵行区。如今上海大族富创得已是一家高新科技企业、科技小巨人企业、“专精特新”企业,全球员工超650人,共有七个子公司,总占地面积约38500㎡,分别为:浙江大族富创得科技有限公司、浙江富创得智能装备有限公司、无锡富创得智能科技有限公司、无锡富创得精密设备有限公司、绵阳大族富创得科技有限公司、美国富创得工程公司、马来西亚富创得工程公司。

大族富创得自成立以来深耕于半导体自动化搬运领域的研发、生产和销售,拥有超过45年的技术积累和经验传承,全球超100项专利,致力于打造以半导体晶圆、光罩、基板自动化搬运系统及其核心组件的整体解决方案,具备全系列产品的客制化能力。在设备前端分选及搬运自动化系统(SORTER/EFEM)、标准机械界面(SMIF)、清洗机&炉管自动化系统(WTS&FTS)、真空传输腔体(VTM)、搬运机器人(Robot)、装载系统(LoadPort)、自动寻边装置(Aligner)、Open Cassette Station (OCS)、超洁净光罩片&EUV自动化系统(Reticle)、全自动化存储系统AMHS(AMR+Stocker+OHT)等设备领域,实现全自主研发、生产,为半导体领域提供具有行业竞争力的定制化整合方案。


公司发展
  • 1979年
  • 1980年
  • 1996年
  • 2002年
  • 2006年
  • 2011年
  • 2016年
  • 2017年
  • 2018年
  • 2019年
  • 2021年
  • 2022年
  • 2023年
  • 2024年
  • 2025年
    • 1979年

      ·  美国富创得工程公司成立于美国硅谷,专注于半导体晶圆传输设备的研发与制造。

    • 1980年

      · 富创得第一台晶圆导片机研发成功,已在全球安装了1550多台。

    • 1996年

      · 富创得(FORTREND)第一台200mm晶圆标准机械界面(SMIF)研发成功(业界首台)并销售至全球。

    • 2002年

      · 富创得(FORTREND)第一台垂直晶圆传输系统研发成功

    • 2006年

      · 富创得进入中国(富创得科技(沈阳)有限公司)。


    • 2011年

      · 富创得(FORTREND)第一台符合ISO-1标准的光罩标准机械界面(Reticle SMIF)研发成功。



    • 2016年

      ·  富创得(FORTREND)第一台符合ISO-1标准的掩膜装载系统(Reticle & EUV Load Ports)研发成功。

    • 2017年

      · 上海大族富创得科技股份有限公司成立,入驻上海市闵行区;

      · 大族富创得第一台H2O/O2 环境控制型 EFEM(Equipment Front End Module,设备前端模块)研发成功。


    • 2018年

      · 大族富创得第一台国产化便携式货架储存系统(PRack Stocker)研发成功。


    • 2019年

      · 大族富创得第一台国产化自动搬运行走机器人(AGV ROBOT)研发成功。

    • 2021年

      · 浙江大族富创得科技有限公司成立;
      ·
      大族富创得第一台12英寸晶圆存储与传输机槽式清洗机前端自动化设备(WTS )研发成功并推向市场。


    • 2022年
      · 大族富创得第一台12英寸晶圆存储与传输机立式炉自动化设备(FTS )研发成功。

    • 2023年

      · 无锡富创得智能科技有限公司成立;
      · 无锡富创得精密设备有限公司成立;

      · 
      大族富创得第一台晶圆真空传输腔体(VTM)研发成功,实现当年盈利。

    • 2024年
      ·浙江富创得智能装备有限公司成立;
      ·
      大族富创得晶圆全自动化存储系统整体解决方案AMHS(AMR+Stocker+OHT)推向市场。
    • 2025年
      ·马来西亚富创得工程公司成立;
      ·绵阳大族富创得科技有限公司成立;

      ·光罩传输设备推向市场。


    全球布局
    大族富创得全球拥有6大生产基地和研发中心,24个当地客服中心,最快2-4小时响应售前售后服务
    公司基地

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