200MM FOR ASM A400 SMIF-FORTREND

产品特性

· PLUS 500F 是ASM批准的用于A400 Classic和A400 DUO系统的SMIF POD装载机，适用于 200 mm晶圆传输，可将将cassette置于密封的迷你环境中，并可将cassette旋转180°；

· 配有教导器、可选通用地板安装、可选RFID读取方式、可选IR-LINK读取方式；

· 用于 ASM A400 Classic 和 DUO 系统，是ASM 指定的 SMIF 供应商、可直接安装到现有的 ASM SMIF 支架上或替换现有 A400 SMIF ；

· 具有POD在位传感器、Wafer突出传感器、Wafer mapping功能、现场可编程应用软件；

· 占地面积小，节省宝贵的FAB占用空间；

· 采用主动自洁净空气流设计，ISO 2级或更高洁净度；

· SEMI E19.4,S2和S8标准和CE认证。

品质保障

· 拥有45年半导体行业经验及验证，多项专利技术授权和EMI E19.4, S2, S8, CE, UKCA 认证；

· 具备诸多安全保障功能，包括传送盒在位传感器、晶圆突出传感器、晶圆盒过载传感器，以及用于精确运动控制的恒转矩直流步进电机（带编码器反馈）；

· 快拆式闩锁的菱形销接口板以及独立式落地安装架，可在15分钟或更短时间内与几乎所有工艺设备重新连接，减少了停机时间并简化了预防性维护；

· 提供安装服务、现场培训、全球范围内的支持，以及多种经济实惠的长期维护合同供客户选择。

产品规格

POD/Wafer 尺寸	200 mm
外观尺寸	710mm 宽 x 660mm 深 x 1770mm 高
机械臂有效载荷	8 KG
整机重量	185 KG(依配置决定)
额定电压	AC 220V
额定功率	2200W
主体材质	铝合金、不锈钢(SUS 304)
噪声	< 75 dBA
通讯	EIA-RS232C,SECS I/II Parallel I/O,SEMI E23-96, IEEE-TTL
通讯协议	ASCII、TCP/P、ASCII、TCP/P
选配选项	ID 读写装置选配RFID 模块或IR Link
洁净度	ISO Class 2
晶圆盒界面	SEMIE19.4
吞吐量	70秒装载和90秒卸载
工作温度	0 ~ 40ºC
工作湿度	5% ~ 90%