SEMICON China 2026 | 大族富创得亮点全回顾！

2026年3月25日至27日，全球半导体行业全球规模最大、规格最高、最具影响力之一的盛会——SEMICON China 2026国际半导体展在上海新国际博览中心圆满落幕。

上海大族富创得、无锡富创得智能科技与无锡富创得精密设备携多款创新产品亮相展会。

01·万亿级半导体时

SEMI数据显示，2020年至2030年间，中国晶圆产能将从490万片增至1410万片，全球市场份额从20%升至32%。

在AI算力需求持续高增长的背景下，半导体设备市场正迎来长期增长红利。

02 · 精彩展品一览
富创得作为国内第一梯队的半导体自动化传输设备供应商，凭借深厚的技术积累和持续创新能力，在本届展会上全面展示了公司在晶圆传输、自动化设备及系统集成领域的最新成果，赢得行业高度关注。

SMIF（晶圆标准机械界面）

公司的经典产品线，拥有3种机身设计和9种夹钳设计，便于便于处理盒式、翻转(90度)、旋转(180度）、左平移(80毫米)、右平移(80毫米)cassettes，满足各种复杂工况需求。

Frame装载系统

富创得FrameLoadport适用于晶圆自动化传输的设备接口，能够高效、洁净地实现FOUP盒与设备之间的自动化晶圆传输，适用于各类半导体设备EFEM、Sorter等，可适配中勤、硕顶等Frame FOUP。

4爪6轴DFM机械手

本品用于12腔单片清洗机用EFEM内部晶圆的传送，能够高速且单独地传送4片晶圆。

机械手包括ARM手本体装置、旋转装置、驱动控制器及相关电缆等附件。

清洗机晶圆传输存储系统（模组）

晶圆盒存储与晶圆搬运的应用在半导体生产工序及工序之间半成品的晶圆盒及晶圆的搬运、存储，能够实现对芯片晶圆的高效、高可靠性、高安全性、高准确的管理和处理可以在晶圆生产过程中进行晶圆存储、对接过程中实现全自动化运行，提升晶圆存储及制造的效率。

真空传输机械手

采用磁流体密封，具有先进的碰撞防护功能，广泛应用于ETCH、PVD、PECVD、MOCVD等半导体设备。

主要应用于采用了高端制造工艺的芯片制程，实现晶圆在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了芯片生产制造的良率和效率，是芯片制造装备的关键产品。等半导体设备

光罩分选设备（Mask Sorter） 模型

支持各种Shipping Box的Mask/Reticle传输到生产工艺载具(Canon/Nikon/RSP等）之间的导片转换，腔体内部的洁净程度可达到ISO Class 1，整机可搭配多种形式的开盒模组，对中、翻转、扫码、目检、缓存等功能机构。

03 · 展望未来

大族富创得始终坚持以技术创新驱动发展，公司持续加大研发投入，坚持核心组件自主研发生产，在晶圆/基板/光罩传输、真空系统、自动化物流等领域形成了一系列具有自主知识产权的核心技术。

随着全球半导体产业链加速向中国转移，半导体设备国产化进程持续深入，

大族富创得将继续深耕半导体晶圆传输领域，紧抓国产化替代的时代机遇，与产业链上下游伙伴携手同行，为中国半导体设备迈向全球价值链高端贡献力量。