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晶圆机器人的深度分析
admin| Jan 11, 2025| 返回 |分享到:

随着消费电子、汽车、电信和医疗保健等各个行业对半导体的需求持续增长,半导体产能和质量已成为影响行业竞争力的关键因素。在半导体设备向更高效率、精度和自动化发展的过程中,晶圆搬运机器人(ROBOT)起着至关重要的作用。这种专用设备不仅提高了生产效率,还确保了晶圆在搬运过程中的安全性和准确性,使其成为实现高效和高质量生产的关键部件。

据QYResearch统计预测,全球半导体晶圆搬运机器人市场销量2023年将达到10亿美元

Global Semiconductor Wafer Transfer Robot Market Sales Forecast
全球半导体晶圆转移机器人市场销售预测)


晶圆传送机器人

半导体机械手,也称为半导体晶圆转移机器人,是半导体制造过程中的关键部件。这些机器人是专门为洁净室环境设计的,能够在密闭空间内精确定位和运输晶圆,并集成到现有的半导体制造系统中。它们通常采用紧凑的模块化设计,结合了先进的传感器、机器人视觉系统和人工智能算法,以确保半导体工艺的效率、精度和质量,同时最大限度地降低晶圆污染和人为错误的风险。这些组件广泛应用于集成电路和芯片制造等前端半导体工艺,包括研磨、抛光、蚀刻、扩散、沉积(PVD和CVD)、涂层、显影、光刻、清洁、离子注入、组装、封装和测试。

Global Semiconductor Wafer Transfer Robots Market Share By Types,2031

(2031年按类型划分的全球半导体晶圆转移机器人市场份额)

 

晶圆自动传输机器人的常见拾取类型

目前,市场上的晶圆自动转移机器人主要采用真空吸附、边缘夹紧、夹紧和提升、接触伯努利和非接触伯努里等多种拾取技术。这些技术有自己的特点。例如,真空吸附适用于晶片与其背面接触并且翘曲相对较小的工作条件。非接触伯努利方法适用于前后两侧都不允许接触的晶片,需要考虑晶片材料。这些技术长期以来一直被日本、韩国和北美等国的企业垄断。


2020年后,中国国内半导体产业进入爆发式发展时期,半导体运输设备企业因此迅速崛起。上海富创得有限公司就是其中之一。它通过技术创新和成本优势逐步扩大了市场份额。据相关数据显示,国产晶圆输送机器人在国内市场的市场份额已从2010年的不到5%上升到现在的30%左右,呈现出强劲的发展势头。


双臂.jpgWafer Transfer Robot

富创得传输机器人:为突破建立力量

上海大族富创得拥有45年的半导体行业经验和技术专长。自成立以来,公司一直专注于半导体自动化传输设备和核心部件的研究、开发和生产。1996年,该公司率先开发了晶圆搬运机器人(ROBOT),该机器人在行业内得到了广泛验证,并得到了许多领先公司的认可。2023年,上海富创得重组战略,将晶圆转移(ROBOT、LOAD PORT、ALIGNER)等核心零部件作为公司的核心重点,成立了无锡富创得智能科技有限公司。

 

系列图无边距.jpg

上海大族富创得凭借其广泛的技术专长和长期验证,使其晶圆处理机器人(ROBOT)能够实现快速夹具更换,兼容多种晶圆尺寸,并保持高效率、精度和稳定性,从而为突破奠定了基础。产品和核心部件均在Fortrend的生产基地制造,大大降低了运营成本和交付周期,实现了本地化制造,并为行业提供了稳定可靠的产品。

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