大族富创得：半导体晶圆/光罩/基板自动化传输系统整体解决方案及核心组件提供商了解更多 >
全球语言
产品中心 全自动化存储系统 AMHS
产品介绍
OHT（Overhead Hoist Transport）天车是半导体 AMHS（自动物料搬运系统）的核心设备，悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送 FOUP、晶圆盒或面板载具到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流，系统由轨道、滑触供电、OHT小车、地面接驳以及调度软件组成，具有不占地、高洁净、高节拍、低振动等优势，可将机台等待时间缩短 30 % 以上。
产品特性
· 模块化设计：安装维护便捷，操作简易；轨道LAYOUT布局更灵活，满足多种布局设计方案;


· 供应链可控，交付快：拥有稳定的供应链体系，95%关键零部件可满足国产替换，可根据客户需求变更;


· 可定制化：针对楼层较低和一些机台狭窄或布局参差不齐的生产环境，我们可以提供多种不同的解决方案。


· 经验丰富的售后团队：售后技术人员均有5年以上相关经验，可以快速响应处理现场问题，保证生产安全平稳运行。

产品规格
咨询表单
如有紧急要求，请直接致电当地办事处。
产品推荐
下载
视频

声明：本网站所展示产品外观、参数、性能描述、对比数据等均来自大族富创得内部实验室自有产品的检测和实验，仅供参考，以实物及实际参数为准，不做为法律依据。

产品中心
标准机械界面 SMIF 晶圆/光罩分选设备 SORTER 设备前端自动化模块 EFEM 装载系统 LOADPORT/OCS 传输机械手 ROBOT 晶圆真空传输系统 VTM 全自动化存储系统 AMHS 立式炉管自动化传输系统FTS 槽式清洗自动化传输系统WTS 晶圆寻边器 ALIGNER
行业应用
半导体
关于富创得
公司简介 联系我们
服务与支持
视频中心 资料下载 常见问题 网页地图
联系我们

021-34786180
service@fortrend.com.cn

上海市闵行区万芳路555号1号楼102、202室

获取富创得的最新消息
隐私政策 · 使用条款 · 网站地图

全球语言

Copyright © 富创得FORTREND 版权所有  沪公网安备31011202021115号  沪ICP备2023005490号-5 本网站直接或间接向消费者推销商品或者服务的商业宣传均属于“广告”（包装及参数、售后保障等商品信息除外）