晶圆自动存储系统 STOCKER - G4-大族富创得官网

产品介绍

· 富创得Stocker自动化存储系统，主要用于半导体晶圆厂的物料存储和传输。它通过多层存储设计，实现晶圆料盒的高效存取，支持多种规格的载具（如FOUP、RSP、Cassette等）。Stocker配备自动化操作功能，能够减少人工干预，提高生产效率和产品质量。同时，它还具备环境控制能力，确保晶圆在存储和传输过程中的洁净度。此外，Stocker与OHT等自动化设备兼容，可实现晶圆在不同工艺之间的高效流转，优化生产空间，助力半导体制造的智能化升级。

产品特性

· 模块化设计,组装调适更快,并可根据需求客制化制作,满足各种工况需求

· 提供对接接口，可对接Fab厂内已有OHT和AGV,补充已有AMHS体系

· 可与富创得一同推出的载具搬运/便携货架式AGV联动,快速吞吐多个晶圆盒,效率更高。

产品规格

设备尺寸	L7800mmW1500mmH4100mm (依配置决定)
适用载具类型	SMIF吊舱光罩盒、FOUP/FOSB、Shipping Box
装载端口	4个(可定制装载端口)
装载端口高度	900 ± 10 mm
通讯协议	HSMS 或 SECS I / SECS II
额定电压	三相五线制 380V50Hz
洁净度	Class 10 (依配置决定)
防震等级	≤0.5G
存储容量	≥1000载具 (依配置决定)
运载臂最大负载	≤15kg
平均搬运时间	<24秒
运载臂最大移动速度	2 米/秒（非线性运动）
运载臂最大旋转速度	90°/秒
运载臂重复定位精度	± 0.2 毫米
平均故障修复时间	< 4 小时
平均故障间隔时间	2000 小时
平均保养间隔时间	6 个月
正常工作时间	≥ 98%

声明：本网站所展示产品外观、参数、性能描述、对比数据等均来自大族富创得内部实验室自有产品的检测和实验，仅供参考，以实物及实际参数为准，不做为法律依据。

联系我们

021-34786180
service@fortrend.com.cn

上海市闵行区万芳路555号1号楼102、202室

获取富创得的最新消息

隐私政策 · 使用条款 · 网站地图

全球语言

沪公网安备31011202021115号 沪ICP备2023005490号-5 本网站直接或间接向消费者推销商品或者服务的商业宣传均属于“广告”（包装及参数、售后保障等商品信息除外）