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常见问题
COMMON PROBLEM
  • 针对不同晶圆、工艺条件,富创得真空传输系统内部的运动部件,能做哪些对应选配?
    富创得真空机械手可结合现场工况,选用不同型号本体以及末端执行器;Load Lock模块可选择不同结构以及传输方式;传输腔体也可按照工艺腔体要求做定制化加工。
  • 富创得槽式清洁机前端自动化传输方案,对产线整体作业有哪些帮助?
    对比单设备本体,富创得槽式清洗机前端自动化整套传输方案,可以完成半导体工序之间半成品晶圆盒、晶圆的转运与存储,实现存储、对接全流程无人自动化运行,实现对芯片晶圆高可靠、高安全、高精度管控,直接提升晶圆存储与整体制造的生产效率。
  • 富创得立式炉FTS模块,有哪些提升良率的优势?
    产线高温热处理工艺,氧化、退火、LPCVD沉积,最担心的是腔体氧扰、颗粒污染影响良率,富创得立式炉FTS模块一方面采用闭环气路设计,抑制腔体内氧含量波动,保障薄膜沉积环境洁净;另一方面配置自主温控模块保障温场均匀,同时集成颗粒过滤+干式等离子清洗功能,减少腔体内污染源,从气体环境、腔体洁净两个维度降低工艺风险,从而进一……
  • 富创得PLM系列有哪些现场适配优势?
    富创得PLM系列内置原厂Mapping检测系统,可识别叠片、斜片、凸片异常,从源头规避晶圆传输撞片碎片风险;设备符合SEMI标准,兼容6/8英寸晶圆,支持选配定制组件,可对接多种设备,对于老产线升级改造可提供多样化方案,灵活适配现场不同工况。
  • 富创得前端自动化产品矩阵,能为工厂解决哪些完整场景诉求
    富创得的产品矩阵覆盖立式炉FTS、槽洗前端WTS、Sorter分选机、EFEM前端模块、PLM开盒器等,可一站式解决晶圆开盒、分选转移、机台对接、工序间搬运暂存存储,适配氧化、退火、清洗、离子注入等多工艺段,减少多供应商对接成本,实现晶圆全流程自动化流转。
  • 大族富创得在研发和行业资质方面如何?
    大族富创得一直积极投入研发,不断强化公司创新实力,累计获得全球创新专利超100项,研发人员占全球员工总数的33%,公司收益的21%用于研发投入,在国内陆续斩获各类相关行业及社会奖励资质,例如:“高新科技企业”,“科技小巨人企业”,“国家级专精特新企业”,“2023年中国瞪羚企业”,“SEMI-e 最佳新锐企业奖”,“上……
  • 富创得的晶圆自动存储系统(Stocker)有哪些优势和特点?
    富创得Stocker可配套AMHS,降低人力盘点的需求,实现自动化的物流管理,实现物料的统一管理,提高工作效率的同时减少人为错误;同时,模块化的设计,使组装调适更快,并可根据工况和客户需求定制制作;此外,可对接Fab厂内已有OHT和AGV,补充已有AMHS体系,并可与富创得一同推出的载具搬运/便携货架式AGV联动,快速……
  • 富创得的SMIF产品优势和特点
    富创得的SMIF产品特点主要体现在这几个方面:1、特有的无尘腔体,内循环可达Class 1等级净洁度,杜绝开盖过程污染晶圆; 2、模块化设计结合多样化客制选项,可适配在不做框架修改的情况下的不同设备; 3、灵活的PIO连接搭配自主研发的软件与宏指令,操作更便捷,易上手; 4、可选配AMHS通讯方式,满足多样化传输需求。
  • 无锡富创得主要做哪些产品?
    无锡富创得智能科技有限公司是半导体自动化传输设备及核心部件提供商,主要生产设备包括:晶圆传输机器人ROBOT ,晶圆装载系统 LOAD PORT ,晶圆寻边器 ALIGNER和Open Cassette Station (OCS);无锡富创得精密设备有限公司是半导体真空自动化传输设备及配套解决方案提供商,主要生产设备如……
  • 富创得在国内的销售和服务覆盖哪些地区?
    目前富创得在国内的销售分为华东、华北、华南、西南、西北,共五个片区,在上海/深圳/北京/武汉/青岛/杭州/绍兴/无锡/南通/天津/重庆等近30个城市设有本地客服中心,并随着业务的拓展和增长逐渐增加中。
  • 富创得有做真空机械手吗?
    大族富创得真空晶圆机械手主要是大族富创得旗下无锡富创得精密设备有限公司研发、生产、制造。主要生产的设备:年产能150台 晶圆真空传输腔体(VTM),真空传输机械手(VTM ROBOT)具备强有力的客制化能力。 广泛应用于:PVD、CVD、蚀刻、光掩膜、CD-SEM、离子注入等工艺设备的真空转移领域。
  • 浙江大族富创得科技有限公司
    浙江大族富创得科技有限成立于2021年,是大族富创得全资子公司,位于浙江省嘉兴市平湖市新埭镇创新路139号,总占地面积:约17000㎡,目前拥有221多名员工,主要为研发和生产团队,其中研发人员占比30%。 主要生产设备:年产能3500台 晶圆标准机械界面(SMIF) 设备前端晶圆传输及存储系统(SO……

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