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富创得的SMIF产品优势和特点

富创得的SMIF产品特点主要体现在这几个方面：1、特有的无尘腔体，内循环可达Class 1等级净洁度，杜绝开盖过程污染晶圆; 2、模块化设计结合多样化客制选项，可适配在不做框架修改的情况下的不同设备; 3、灵活的PIO连接搭配自主研发的软件与宏指令，操作更便捷，易上手; 4、可选配AMHS通讯方式，满足多样化传输需求。
OHT 天车对接适配于FAB吗？

适配的，我们有 PLM‑200W‑OHT 加宽型机型，专门适配 OHT 天车对接，相比标准版提供更大对接空间，保障天车对接安全；同时 OHT 手动站也兼容 OHT 系统，支持 POD 从 OHT 系统装载和移除，完全适配 FAB 的 OHT 自动化物流产线。
SMIF设备运行的稳定性如何？后期维护和售后支持如何？

SMIF 设备平均无故障可达 50000 次循环，开机复位时间＜20 秒，装载卸载周期性能优异。

设备采用快拆式门锁菱形销接口，维护拆装便捷，平均修复时间少于 1 小时。

我们提供设备安装、现场培训服务，拥有全球服务网络，还可以提供多种长期维护合同，满足工厂运维需求。
有没有手动操作的SMIF设备可以适配暂无法实现全自动化的部分工位？

我们有 POM 系列台式独立 SMIF POD 开启器，适合 OEM 工具无法实现自动化装载的工位，操作员手动放置 POD，按下运行按钮就自动解锁开盖取放晶圆，安装操作简便。另外，还有 SMIF OHT 装载端口手动站，可和 FAB OHT 系统整合，支持 OHT 装载 / 卸载开关，带状态指示灯条，既可以配合 OHT 自动化天车，也支持人工手动操作，兼顾自动化和手动工况。
工厂需要对接 MES 系统，SMIF系列设备通讯灵活性与适配性选择如何？

SMIF系列通讯十分灵活，支持串口、网口，兼容 SECS I/II、ASCII、TCP/IP 协议；可选配 SECS 通信板，直接对接工厂 MES 系统。同时，可选配件也很丰富，支持 RFID / 红外 Smart Tag 标签读写；可配置 E84 握手模组；支持左 / 右可选 I/O 面板；部分机型可选晶圆 Mapping 器；支持 OHT 天车对接版本，适配自动化 OHT 轨道产线；此外，同时配套手持平板 GUI 图形界面，方便站点设置配置，运维调试简单。
富创得隔离式密闭EFEM技术是什么？

富创得密闭式手套箱结构，可控制内部水、氧和金属离子含量，也可充气循环利用并控制内部压力；FOUP Load Port 气密性设计和接触式连接头充气专利技术；可适用于未来微纳米（<1nm）制程设备传输要求；富创得为全球唯一一家已经实现此技术的公司。
富创得自动搬运机器人产品介绍

富创得AMR自动搬运机器人专为洁净室内晶圆或FOUP全自动搬运设计，可在机台、缓存与仓储间安全高效转运，完美融入现有产线，实现无人化晶圆运输。SLAM激光导航设计与自定义地图导航系统，实现无轨道自由导航，轻松应对各种复杂路况，更便捷、更灵活。自主研发的FTC和MCS调度派遣、交通管制系统，算法更优，可快速完成全厂AGV运输规划。
富创得晶圆自动存储系统介绍

晶圆自动存储系统：是专为半导体晶圆厂设计的自动存储子系统，具备多层存放空间，用于自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒，以实现晶圆在不同工艺之间的流转。富创得Stocker可配套AMHS，降低人力盘点的需求，实现自动化的物流管理，实现物料的统一管理，提高工作效率的同时减少人为错误。模块化设计,组装调适更快,并可根据需求客制化制作,满足各种工况需求;提供对接接口，可对接Fab厂内已有OHT和AGV,补充已有AMHS体系;可与富创得一同推出的载具搬运/便携货架式AGV联动,快速吞吐多个晶圆盒,效率更高。
富创得提供光罩存储系统吗？

富创得提供多种光罩存储和管理解决方案，以满足晶圆厂日益增长的光罩数量需求，可为提供以下存储解决方案：Carousel SMIF盒存储系统；E-Racks，用于SMIF盒；SMIF盒缓冲区；I-Cell空白光罩存储，用于高级光罩；自动化E-Racks，用于SMIF盒存储。
富创得立式炉自动化设备产品介绍

富创得立式炉管设备是集成电路工艺制程中的一种关键热处理设备，具有占地面积小、污染低、温度均匀稳定等优点，工艺包含氧化、扩散、退火、合金和低压化学气相沉积等，属于晶圆制造厂需求量较多的工艺设备。FTS作为立式炉管的模块之一与反应室、真空系统、工艺气路系统等集成一体；主要应用与氧化、退火和LPCVD沉积，这些是半导体制造的核心。
富创得真空传输系统产品介绍

该产品采用磁流体密封，具有先进的碰撞防护功能，广泛应用于ETCH、PVD、PECVD、MOCVD等半导体设备。主要应用于采用了高端制造工艺的芯片制程，实现晶圆在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了芯片生产制造的良率和效率，是芯片制造装备的关键产品。PIONEER 系列机械手满足用户个性化定制，提供从机械臂到未端手指的全面定制方案，为客户提供与生产工艺匹配的最优传输解决方案。
富创得OHT天车产品介绍

OHT（Overhead Hoist Transport）天车是半导体 AMHS（自动物料搬运系统）的核心设备，悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送 FOUP、晶圆盒或面板载具到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流，系统由轨道、滑触供电、OHT小车、地面接驳以及调度软件组成，具有不占地、高洁净、高节拍、低振动等优势，可将机台等待时间缩短 30 % 以上。轻量化和小型化设计：降低能耗，提高运行效率，产品各方面性能更高；对安装空间和吊装称重要求更低;；模块化设计：安装维护便捷，操作简易；轨道LAYOUT布局更灵活，满足多种布局设计方案;供应链可控，交付快：拥有稳定的供应链体系，95%关键零部件可满足国产替换，可根据客户需求变更;可定制化：针对楼层较低和一些机台狭窄或布局参差不齐的生产环境，我们可以提供多种不同的解决方案。经验丰富的售后团队：售后技术人员均有5年以上相关经验，可以快速响应处理现场问题，保证生产安全平稳运行。

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