· 优异的装载环境微氧含量控制技术；                                              

· 稳定均匀的高温控制技术；                                             

· 先进的颗粒控制技术；                                                  

· 优异的淀积薄膜均匀性和工艺；                                    

· 干法清洗技术延长维护周期;                                                     

· 完善的安全互锁系统;一致性;                                               

· 优异的整机可靠性和稳定性:                                                

· 设备操作维护便捷高效；                                            

· 兼容人工和天车上下料；                                                                                     

· 具有取放片Mapping功能；                                             

· 标准软件接口(GEM300标准)