12寸槽式清洗晶圆传输系统主要由洁净晶圆盒机械手、晶圆盒移载台、晶圆盒搬运对接模块、批量晶圆传输系统、存储单元、监控系统、控制系统组成一个高洁净度的晶圆盒存储及晶圆传输系统。晶圆厂通过天车\AGV等自动上料设备或人工将晶圆盒传输到晶圆盒承载平台上，晶圆盒承载平台进行晶圆盒的ID读取并和工厂自动化系统中的晶圆盒位置进行校验，校验无误后设备内部机械手将晶圆盒搬运至存储设备内部，再通过机械手将此晶圆盒搬运至存储位置存放。此时晶圆盒存储完成；等待工厂系统下单将晶圆盒传输至工艺区指令时，通过晶圆盒机械手将晶圆盒搬运至晶圆盒开盒载台位置，进行晶圆盒开盒与mapping动作，mapping结构上传至上位机系统，与进料晶圆信息进行校验，校验无误后通过晶圆传输系统进行晶圆搬运，传输过程中多次校验晶圆信息确保搬运的准确性。之后晶圆盒关闭并将晶圆盒传输至存储工位，完成晶圆上料。晶圆盒存储与晶圆搬运的应用在半导体生产工序及工序之间半成品的晶圆盒及晶圆的搬运、存储和工艺，能够实现对芯片晶圆的高效、高可靠性、高安全性、高准确的管理和处理可以在晶圆生产过程中进行晶圆存储、对接过程中实现全自动化运行，提升晶圆存储及制造的效率。