8 Sic FTS全称200mm Oxidition Furnace Transfer System;;包括WTS（wafer transfer system,简称WTS）和Cassette Stocker的功能。WTS实现wafer从cassette传输到Boat或从Boat传回到cassette中；Stocker是一个自动存储和检索系统（Automatic Storage and Retrieval System, ASRS），内部可存储9个cassette，并且在Stocker前端Port上料时，可以进行cassette ID读取，并ID信息同步给上位机，实现cassette追踪与管理。
FTS作为立式炉管的模块之一与反应室、真空系统、工艺气路系统等集成一体,主要应用与氧化、退火和LPCVD沉积，是半导体制造的核心。
· 优异的装载环境微氧含量控制技术；
· 稳定均匀的高温控制技术；
· 先进的颗粒控制技术；
· 完善的安全互锁系统；一致性；
· 优异的整机可靠性和稳定性；
· 设备操作维护便捷高效；
· 兼容人工和天车上下料；
· 兼容 POD 和卡塞不同上料方式；
· 兼容 6/8 寸晶圆生产；
· 具有卡塞 Mapping 功能。
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