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产品中心 槽式清洗自动化传输系统WTS WTS设备
产品介绍

WTS全称Wafer Transfer System；主要应用于半导体WET BENCH前端FOUP搬运与晶圆上/下料。WTS 设备包括Stocker模块与晶圆传输模块，stocker区域是Foup存储和检索系统，内部可存储14个Foup，并且在Stocker前端Port上料时，可以进行FoupID读取，并ID信息同步给上位机，实现Foup追踪与管理


产品特性

· 先进的颗粒控制技术；

· 优异的整机可靠性和稳定性:                                                

· 设备操作维护便捷高效；                                             

· 兼容人工和天车上下料；                                                                                     

· 具有取Mapping功能；

· 完善的安全互锁系统;一致性  

产品规格
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行业应用
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