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产品中心 立式炉管自动化传输系统FTS FTS STK
产品介绍

8 Sic FTS全称200mm Oxidition Furnace Transfer System;;包括WTS（wafer transfer system,简称WTS）和Cassette  Stocker的功能。WTS实现wafer从cassette传输到Boat或从Boat传回到cassette中；Stocker是一个自动存储和检索系统（Automatic Storage and Retrieval System, ASRS），内部可存储9个cassette，并且在Stocker前端Port上料时，可以进行cassette ID读取，并ID信息同步给上位机，实现cassette追踪与管理。

8 Sic FTS兼容6寸cassette与wafer存储与搬运。

产品特性
1.能根据工艺腔定制开发；                                                                 
2.兼容人工和天车上下料；
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