当晶圆产线停下来的时候

凌晨两点，国内某晶圆厂里，一位设备经理站在机台前，眉头紧锁。一台进口传输设备出现故障，海外原厂的工程师还在另一个时区，备件要从大洋彼岸发来，最快也要两周。而产线上，每一小时的停机，都意味着成片晶圆面临报废风险，损失以百万计。

这样的场景，在过去很多年里，是国产半导体制造行业的一种常态。晶圆传输、光罩运输、真空腔体、整厂自动化物流系统，这些看似不起眼的环节，长期被海外厂商垄断。采购成本高、交付周期长、备件供货慢、售后响应滞后——每一个痛点背后，都是国内晶圆厂被迫承受的沉默成本。

更深层的问题在于技术壁垒。半导体洁净传输设备对低发尘、防静电、对接精度、长期运行稳定性有着近乎苛刻的要求，设备不能简单复刻，需要数十年现场工艺经验的沉淀。而国内复合型人才稀缺，国产化替换又面临验证门槛高的现实——产线对宕机零容忍，任何微小故障都可能造成整片晶圆报废，晶圆厂不敢轻易冒险。

正是在这样的行业背景下，一群人决定把这件事扛下来。他们相信，半导体产业链的国产化，不能只停留在光刻、刻蚀这些被聚光灯照亮的环节，传输这条看不见的动脉，同样需要有人守得住、做得深。

一份跨越近半个世纪的坚守

从硅谷出发的起点

故事要回到1979年。那一年，美国富创得工程公司在硅谷圣何塞成立，开始了半导体晶圆自动化传输设备的研发制造。在随后的岁月里，这家公司创造了一个又一个行业里程碑：推出全球首台垂直晶圆传输系统、200mm晶圆SMIF系统；2002年推出首套ISO1光罩SMIF；2006年研发零湿度裸光罩存储系统；2016年完成7nm制程Reticle Load Port光罩装载设备。

2016年，大族激光收购了美国Fortrend Engineering Corporation。2017年3月，上海大族富创得在上海闵行注册成立，作为全球运营总部。这段跨越太平洋的技术传承，让大族富创得拥有了47年半导体自动化传输技术积淀，全球专利数量超过100项。

但技术传承只是起点，真正的考验在于：如何让这份积淀在中国土地上生根发芽，长成能够支撑国产化替代的大树。

把根扎进中国的土地

大族富创得的选择是，不做简单的技术搬运工，而是做深度的本土化耕耘者。

2006年，富创得进入中国市场，在沈阳设立生产基地。2018至2019年，国内陆续推出pRack Stocker、AGV机器人、真空传输系统等国产首台装备。2021年，浙江基地落成；2022至2023年，无锡两大子公司相继落地，补齐机器人、真空VTM产线；2024年，马来西亚基地建成投产；2025年，平湖大型生产基地开工建设；2026年，四川绵阳AMHS专项基地正式投入使用。

上海基地主打WTS/FTS，浙江基地主打SMIF、EFEM，无锡子公司分别负责机器人、LoadPort、Aligner和VTM真空设备，绵阳基地专注AMHS系统研发制造——各基地分工明确，形成完整的制造版图。在建的平湖基地，建成后总产能可达每年10940台，配置百级、千级、万级洁净车间，支撑大规模国产化交付。

与此同时，服务网络也在全球铺开。中国上海、浙江、无锡、绵阳、深圳，美国硅谷，马来西亚槟城，多区域设立服务站点，实现研发、生产、销售、售后的本土化。当国内客户遇到现场问题时，响应的不再是跨时区的越洋电话，而是能够快速抵达的本土团队。

用细节兑现承诺

初心容易说，难的是几十年如一日的践行。

大族富创得坚持全链条自主可控——整机与核心零部件，包括机械手、LoadPort、Aligner、VTM腔体等，全部自研自产，摆脱海外零部件绑定，可以深度定制，适配国内200mm和300mm多种产线，兼容先进制程光罩EUV场景。这意味着，客户不再需要在标准化产品与实际需求之间妥协。

洁净与稳定性，是这个行业看不见却最重要的底线。大族富创得的产品满足半导体高等级洁净环境要求，低发尘、防静电，降低晶圆污染，保障芯片良率。这些指标不会出现在华丽的宣传册上，却决定了每一片晶圆的命运。

服务上，大族富创得提供的是全生命周期的陪伴：前期产线规划、方案定制、设备对接适配；中期安装调试、洁净现场部署；后期7×24技术响应、故障排查、备件供应、设备迭代升级。针对不同fab工艺节点、老厂房改造、新建产线，还能做非标改造、接口适配，提供交钥匙整体解决方案。不止销售单机设备，而是从单机到整厂AMHS智能物流的全套整合——AMR自动搬运机器人、OHT天车系统、Stocker存储系统、OHB空中缓存、NTB近机台缓存、Lifter跨楼层搬运，一应俱全。

支撑这一切的，是持续的研发投入。研发人员占比33%，研发投入占营收约21%，团队持续迭代，适配国产设备厂商的接口标准。数字背后，是一群工程师日复一日与微米级精度较真的执着。

口碑，是时间给出的答案

来自客户的信任

市场口碑从来不是自己说出来的，而是客户用一次次选择累积起来的。

在设备大厂配套领域，大族富创得为刻蚀、薄膜沉积等国产工艺设备配套EFEM、LoadPort、VTM真空传输等前端自动化模块，实现国产设备上下游协同配套，共同推进设备国产化落地。北方华创授予的精英合作伙伴荣誉称号，是这份信任的直接见证。

在国内晶圆制造与先进封装领域，产品应用于多家12英寸、8英寸晶圆制造产线、先进封装产线，覆盖逻辑、存储、特色工艺，提供EFEM、SMIF、晶圆机器人、AMHS智能物流系统。为国内清洗机、立式炉管、PVD/CVD、离子注入设备厂商配套WTS/FTS、VTM真空传输系统，完成设备前端自动化对接。

在海外市场，美国、马来西亚基地服务北美、东南亚半导体客户，SMIF、PLM光罩传输设备供应海外Fab与封测工厂。一家中国企业，能够在半导体装备的发源地美国立足服务，这本身就是对产品实力的检验。

行业也给出了自己的认可：SEMI新锐企业奖、2026湾芯展创新技术奖装备技术奖、2025年度中国光电博览奖光电技术创新奖。上海市集成电路行业协会理事单位、SEMI国际半导体行业协会会员、中国半导体行业协会会员、国家知识产权示范企业、专精特新企业、2023中国瞪羚企业——每一项资质背后，都是行业对这份坚持的注解。

价值观的重量

如果把大族富创得的精神浓缩成一句话，那就是：把别人不愿做的难事，做成值得信赖的事业。

半导体传输环节不是行业里最耀眼的赛道，却是产业链安全不可或缺的一环。大族富创得选择的，是补齐国内半导体设备自动化传输环节的短板，实现晶圆、光罩、真空传输、整厂AMHS物流装备的国产替代，降低国内晶圆厂对海外设备的依赖，保障国内集成电路供应链安全。

这份选择意味着慢功夫、深积累、长陪伴。它不追求一夜之间的风口，而是相信时间的复利——47年技术传承，叠加本土化二次开发，多项业内首台产品落地，靠的不是运气，而是一代代工程师对洁净度、精度、稳定性的极致追求。

它也意味着责任与担当。国内8大子公司分布在上海、浙江、无锡、绵阳、深圳等地，带动精密加工、洁净零部件、自动化软件等配套产业发展，创造技术岗位；大量吸纳机械、自动化、半导体工艺研发人才，搭建半导体装备研发平台，缓解国内半导体装备复合型人才缺口；作为多家集成电路行业协会理事、会员单位，参与行业标准研讨，与国产设备厂商协同开发，完善国产半导体装备生态。

平湖基地达产后，年产能超万台，将大幅提升国产半导体传输装备供给，支撑国内晶圆厂大规模扩产建设。这不仅是一家企业的成长，更是一个产业链的成熟。

立足当下，走向更远的未来

半导体行业的竞争，从来不是短跑，而是一场以十年为单位的马拉松。设备可以采购，技术可以引进，但唯有长期主义的坚守，才能沉淀出真正值得托付的信任。

今天的大族富创得，拥有跨越47年的技术传承、遍布中美马的制造与服务网络、超过100项全球专利、覆盖半导体前道全链条的自研产品线，以及一支占比33%的研发团队。但比这些数字更重要的，是那份从未改变的初心：让国内晶圆厂不再为传输环节的卡脖子而焦虑，让每一次晶圆的搬运都安全、洁净、可靠。

未来，大族富创得将继续深耕半导体自动化传输领域，与国产设备厂商协同前行，与晶圆厂共同成长。新建的产线，提供全套全新自动化方案；待改造的老厂房，给出量身定制的交钥匙方案；无论国内还是海外，本土团队始终在场，7×24小时待命。

在半导体这条漫长而精密的赛道上，大族富创得愿意继续做那双看不见的手，托举每一片晶圆，守护每一份良率，陪伴中国半导体产业走向更远的地方。这，就是一家企业对时代、对客户、对行业，最诚恳的回答。