• 150MM SMIF (STANDARD)
• 150 MM SMIF (ROTATE)
• 200MM SMIF (STANDARD)
• 200MM SMIF (ROTATE)

• 150MM RETICLE SMIF
• 200MM RETICLE SMIF
• 200MM RETICLE SMIF (3-LINK)

• 150MM COMPACT SMIF
• 150MM SMIF-SD
• 150MM FOR CANON EUV SMIF
• 200MM COMPACT SMIF
• 200MM SMIF-SD
• 200MM FOR ASM A400 SMIF

• LAMINA SORTER L401
• LAMINA SORTER L601
• LAMINA SORTER L301
• LAMINA SORTER L201

• LAMINA SORTER L201（For Taiko Wafer）
• LAMINA SORTER L201 (晶圆打包)
• LAMINA SORTER L201 (OM LOADER)

• LAMINA 光罩片自动传输系统

• LAMINA EFEM L201
• LAMINA EFEM L301
• LAMINA EFEM L401

• LAMINA EFEM （量检测）
• LAMINA EFEM （离子注入)
• LAMINA EFEM （外延）
• LAMINA EFEM （气相沉积/刻蚀）
• LAMINA EFEM （光刻）
• LAMINA EFEM （减薄/键合）

• 光罩设备前端模块 EFEM（MASK）

• LAMINA EFEM （Frame Wafer）

• 150mm POM
• PLM 200W-OHT(加宽版)
• PLM 200W-OHT
• PLM 200W

• 300MM WAFER LOADPORT
• FRAME LOADPORT
• Wafer OCS
• FRAME OCS

• PANEL LOADPORT

• 150MM RETICLE PLM
• 200MM RETICLE PLM
• 200MM EUV DUAL PLM

• 5轴-双Z机械手系列
• 5轴-真空吸附式双臂FLIP ROBOT
• 4轴-边缘夹持型&夹持拖举型双臂
• 4轴-真空吸附式FLIP单臂ROBOT
• 3轴-伯努利单臂机械臂
• 3轴-夹持托举型机械臂
• 4轴-接触式伯努利型FLIP单臂ROBOT
• 4轴-真空吸附式双臂
• 4轴-接触式伯努利型双臂ROBOT

• 4-6轴Humid四臂机械手
• 4轴-Humid双臂机械手
• 3轴-Humid单臂机械手
• 7轴-Humid四臂机械手

• 4轴-MASK双臂机械手
• 3轴-MASK单臂机械手

• 4轴-双臂PLP机械手

• 4轴-Cassette机械手

• 侧挂式TRACK
• 地轨式示意图

• 八边形真空传输腔体 VTM
• 七边形真空传输腔体 VTM
• 六边形真空传输腔体 VTM
• 五边形真空传输腔体 VTM
• 四边形真空传输腔体 VTM

• 双入料真空传输腔体 VTM
• 12寸晶圆五边形半导体真空传输模组

• P-RACK 便携式自动货架导引车(AGV)
• 200MM - 300MM 自动搬运机器人 (AMR)

• 晶圆自动存储系统 STOCKER - G4

• 晶圆寻边器（FPA-612-V）