深度合作,凝聚共创之力
技术领先,赋能产业
上海大族富创得在全球拥有五个子公司与研发基地,拥有超100多项全球专利。自成立以来深耕于半导体自动化搬运领域的研发、生产和销售,拥有超过45年的技术积累和经验传承项,致力于打造以半导体晶圆、光罩、基板自动化搬运系统及其核心组件的整体解决方案。在设备前端分选及搬运自动化系统(SORTER/EFEM)、标准机械界面(SMIF)、清洗机&炉管自动化系统(WTS&FTS)、真空传输腔体(VTM)、搬运机器人(Robot)、装载系统(LoadPort)、自动寻边装置(Aligner)、Open Cassette Station (OCS)、超洁净光罩片&EUV自动化系统(Reticle)、全自动化存储系统AMHS(AMR+Stocker+OHT)等设备领域,实现全自主研发、生产,为半导体领域提供具有行业竞争力的定制化整合方案。
携手共赢,共赴“芯”征程
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