2026年8月，大族富创得旗下子公司浙江大族富创得科技有限公司生产的150mm光罩设备前端模块（Mask EFEM 系列），成功入选嘉兴市经济和信息化局首台（套）装备认定名单，并获首台（套）认定。这张来自官方的“成绩单”，不仅让大族富创得走到聚光灯下，也标志着该产品在技术创新上实现了从0到1的重大突破，填补了国内光罩领域自动化传输的技术空白，并在技术和材料层面提升了国产化率。



Mask EFEM产品

大族富创得光罩设备前端模块均由浙江富创得生产基地自主研发和生产。目前，富创得 Mask 系列产品已实现批量生产，具备效率更高、响应速度更快、性价比更优等优势，是光罩自动化传输与分拣的关键设备。

该产品内部洁净度可优于 ISO Class 1 标准；适配主流光刻机的光罩盒，同时支持SEMI RSP150/RSP200 标准载具、Blank Box 等，可在不同品牌、不同型号的载具之间实现全自动转换，无需人工换盒；支持普通 Mask、Reticle 及带 Pellicle 保护膜的光罩；支持 SECS/GEM 工厂主机通讯协议，可无缝接入 Fab 厂 MES 系统；配备自研 Mask 专用机械手，采用末端执行器，重复定位精度在 ±0.1 mm 以内。此外，可根据客户需求提供深度定制化解决方案，这是国内外同行均难以提供的差异化服务。

公司介绍

大族富创得旗下子公司浙江大族富创得科技有限公司于2021年入驻浙江省嘉兴市平湖市新埭镇，占地面积约17,000 m²，现有员工390余名，研发人员占比近33%。

2025年，公司再次牵头推动“晶圆自动化传输设备生产项目”落地浙江省嘉兴市平湖市新埭镇。该项目总建筑面积为77,836.60 m²，其中，百级洁净车间500 m²（专门用于Mask产品生产），千级洁净车间4,000 m²，万级洁净车间8,000 m²。项目预计于2026年底完成，届时将大幅提升公司的产品产能。

公司拥有逾47年的半导体自动化技术经验积淀与传承。依托这支团队，大族富创得已成为国内半导体传输设备第一梯队企业之一，其产品广泛应用于半导体及泛半导体领域，覆盖6/8英寸、12英寸Fab厂和Mask Shop等应用场景。

包括以下全自动化传输设备：设备前端分选及搬运自动化系统Sorter/EFEM、标准机械接口SMIF、清洗机与炉管自动化系统WTS&FTS、真空传输腔体VTM、搬运机器人Robot、装载系统Loadport、自动寻边装置Aligner、Open Cassette Stage（OCS）、超洁净光罩片及EUV自动化系统、全自动化物料搬运及存储系统AMHS（AMR+Stocker+OHT）等。

未来，富创得将坚持以研发创新为核心，攻坚克难、夯实基础，一步一个脚印，推动“富创得嘉兴造”走向“全球制造”。