SMIF 设备平均无故障可达 50000 次循环，开机复位时间＜20 秒，装载卸载周期性能优异。

设备采用快拆式门锁菱形销接口，维护拆装便捷，平均修复时间少于 1 小时。

我们提供设备安装、现场培训服务，拥有全球服务网络，还可以提供多种长期维护合同，满足工厂运维需求。

我们有 POM 系列台式独立 SMIF POD 开启器，适合 OEM 工具无法实现自动化装载的工位，操作员手动放置 POD，按下运行按钮就自动解锁开盖取放晶圆，安装操作简便。另外，还有 SMIF OHT 装载端口手动站，可和 FAB OHT 系统整合，支持 OHT 装载 / 卸载开关，带状态指示灯条，既可以配合 OHT 自动化天车，也支持人工手动操作，兼顾自动化和手动工况。

富创得的产品采用 ISO Class2 高洁净等级，搭载主动自洁净空气流设计，把晶圆 cassette 置于密封微环境，满足 FAB 洁净车间需求，与此同时，机身做紧凑化设计，占地面积小，节省宝贵的 FAB 车间空间；脚轮高度 6‑15.3cm 可调，适配不同高度的工艺平台。

富创得全套 SMIF 设备配置多重安全传感器：包含 Wafer 晶圆突出检测、SMIF POD 在位检测、POD 盒过载传感器；搭配带编码器的电机实现高精度运动控制，可以及时检测叠片、斜片等异常，杜绝撞片风险。

另外 POM 手动站、PLM‑OHT 加宽机型还具备 POD 存在和盖子传感器，在操作全过程保护晶圆与掩模版；设备支持晶圆 Mapping 功能，可实时识别晶圆状态，保障晶圆运输、装载全过程安全。

富创得SMIF产品支持 SECS I/II、ASCII 多种通信协议，有 6 种不同通信交互模式，可以适配 EAP、工艺设备 Tool、MES 系统对接；部分型号可以直接替换现有 A400 SMIF 设备，支持 Tool Mount、Floor Mount 两种安装方式，15 分钟内即可完成与工艺设备对接，大幅减少产线停机时间。同时兼容 150/200mm 晶圆 POD，可适配 OHT 天车系统，满足自动化 FAB 产线使用。

A：SMIF系统需要定期对密封件、传感器和机械接口进行检查和维护；如果配备了自清洁气流系统，也应定期进行检查，以保持ISO1级洁净度标准；也可联系富创得官方售后团队进行定期维护。

A：富创得生产的SMIF产品均可对接天车OHT，已有47年成熟技术经验，并得到头部前200家以上企业充分验证。