富创得的SMIF产品优势和特点

富创得的SMIF产品特点主要体现在这几个方面：1、特有的无尘腔体，内循环可达Class 1等级净洁度，杜绝开盖过程污染晶圆;  2、模块化设计结合多样化客制选项，可适配在不做框架修改的情况下的不同设备;  3、灵活的PIO连接搭配自主研发的软件与宏指令，操作更便捷，易上手;  4、可选配AMHS通讯方式，满足多样化传输需求。

富创得自动搬运机器人产品介绍

富创得AMR自动搬运机器人专为洁净室内晶圆或FOUP全自动搬运设计，可在机台、缓存与仓储间安全高效转运，完美融入现有产线，实现无人化晶圆运输。SLAM激光导航设计与自定义地图导航系统，实现无轨道自由导航，轻松应对各种复杂路况，更便捷、更灵活。自主研发的FTC和MCS调度派遣、交通管制系统，算法更优，可快速完成全厂AGV运输规划。

富创得晶圆自动存储系统介绍

晶圆自动存储系统：是专为半导体晶圆厂设计的自动存储子系统，具备多层存放空间，用于自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒，以实现晶圆在不同工艺之间的流转。富创得Stocker可配套AMHS，降低人力盘点的需求，实现自动化的物流管理，实现物料的统一管理，提高工作效率的同时减少人为错误。模块化设计,组装调适更快,并可根据需求客制化制作,满足各种工况需求;提供对接接口，可对接Fab厂内已有OHT和AGV,补充已有AMHS体系;可与富创得一同推出的载具搬运/便携货架式AGV联动,快速吞吐多个晶圆盒,效率更高。

富创得立式炉自动化设备产品介绍

富创得立式炉管设备是集成电路工艺制程中的一种关键热处理设备，具有占地面积小、污染低、温度均匀稳定等优点，工艺包含氧化、扩散、退火、合金和低压化学气相沉积等，属于晶圆制造厂需求量较多的工艺设备。FTS作为立式炉管的模块之一与反应室、真空系统、工艺气路系统等集成一体；主要应用与氧化、退火和LPCVD沉积，这些是半导体制造的核心。

富创得真空传输系统产品介绍

该产品采用磁流体密封，具有先进的碰撞防护功能，广泛应用于ETCH、PVD、PECVD、MOCVD等半导体设备。主要应用于采用了高端制造工艺的芯片制程，实现晶圆在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了芯片生产制造的良率和效率，是芯片制造装备的关键产品。PIONEER 系列机械手满足用户个性化定制，提供从机械臂到未端手指的全面定制方案，为客户提供与生产工艺匹配的最优传输解决方案。

富创得OHT天车产品介绍

OHT（Overhead Hoist Transport）天车是半导体 AMHS（自动物料搬运系统）的核心设备，悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送 FOUP、晶圆盒或面板载具到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流，系统由轨道、滑触供电、OHT小车、地面接驳以及调度软件组成，具有不占地、高洁净、高节拍、低振动等优势，可将机台等待时间缩短 30 % 以上。轻量化和小型化设计：降低能耗，提高运行效率，产品各方面性能更高；对安装空间和吊装称重要求更低;；模块化设计：安装维护便捷，操作简易；轨道LAYOUT布局更灵活，满足多种布局设计方案;供应链可控，交付快：拥有稳定的供应链体系，95%关键零部件可满足国产替换，可根据客户需求变更;可定制化：针对楼层较低和一些机台狭窄或布局参差不齐的生产环境，我们可以提供多种不同的解决方案。经验丰富的售后团队：售后技术人员均有5年以上相关经验，可以快速响应处理现场问题，保证生产安全平稳运行。

富创得MASK真空传输机械手介绍

该产品适用于高洁净真空环境下的MASK片或方形玻璃片的传输,全轴采用伺服电机与高精度谐波减速机传动。通过磁流体密封装置和波纹管来实现真空密封。S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运。具有碰撞检测保护系统，最大限度地保护晶圆，有效提升设备工艺的稳定性。可选拟水平多关节动作对应平行配置的设备布局；采用下托式的MASK片固定方式，利用MASK片自重的边缘夹持式；可以使用较长的手指，实现较长的伸展距离。可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指；机械臂长度和末端负载可根据客户的需求定制。

富创得MASK大气传输机械手介绍

该设备适用于高洁净状况下的传输,采用闭环控制方式，适用于MASK片/方形玻璃片的传输。应用于 MASK EFEM等MASK 片传输，高洁净度要求、高精度、高可靠性等要求的工况,确保光刻工艺MASK片传输的高效和稳定。可选拟水平多关节动作对应平行配置的设备布局；EEF采用闭环控制的夹爪方式；可搭配不同类型的Fork，满足多种工况的MASK片传输；根据设备布局可选上固定方式或下固定方式。

富创得光罩自动化分选设备产品介绍

可实现全自动化载具更换，运输盒(Hoya、ShinEtsu、Nikon、Canon等)之间和RSP光照盒（RSP150/RSP200/RSP EUV）之间转换；可客制化机械手搭配光罩片末端执行器,满足各种复杂的应用场景，包括reticle、mask、pellicle ;  可配置turntable模组满足reticle的水平360°旋转和正反面翻转功能，并实现精确对准和MASK ID/Pellicles ID的读码功能；可配置人工目检装置，风刀模组等，实现光罩片目检功能和表面颗粒吹扫功能。

富创得光罩真空传输平台产品介绍

富创得Mask真空传输平台支持将各种Mask/Reticle 传输到生产工艺设备，腔体内部的洁净等级可达到IS0 Class 1,整机可搭配多种形式的Load Lock、缓存、校准等功能机构,可自定义编辑任意传片路径,支持客制化选配定制。可实现全自动化Mask真空传输；可客制化机械手搭配Mask末端执行器，单臂单叉、双臂双叉均可选择，满足不同的应用场景;  可配置缓存腔满足真空多片暂存，可配置校准腔进行真空视觉校准提高传片精度，可配置单Load Lock内多层升降满足；可客制化水冷系统保证整机恒温。

富创得光罩标准机械界面产品介绍

由富创得全面自主研发，应用于MASK / Reticle的开盒模组，提供多种掩模版搬运臂和夹爪设计，以满足灵活的OEM掩模版操作需求（包括翻转、旋转、长距离伸展、OCR/BCR等）。掩模版旋转范围0至360°；掩模版翻转范围0至300°；提供多种掩模版搬运臂和夹爪设计，以满足灵活的OEM掩模版操作需求（包括翻转、旋转、长距离伸展、OCR/BCR等）

富创得寻边器产品介绍

富创得晶圆寻边器可实现高速、稳定、高精度校准，适用于晶圆加工预对准，以确保晶圆的位置及方向。产品广泛应用于半导体制造过程中的各个阶段，可集成至各类半导体设备中使用。FPA系列晶圆寻边器为四轴控制,采用微型单轴机器人模组;具有高刚性特性,实现高速高效高精度的晶圆寻边和中心位置校准(晶圆位置≤士0.1mm;晶圆缺边/缺口≤士0.1°)；高效的运行,寻晶圆缺口位置≤7S(不包括晶圆取放时间),快速完成晶圆中心与角度补正;可支持半透明与不透明晶圆应用,适用于直径100-300mm的硅晶圆,碳化硅片等;一体化设计,内嵌式控制器,无需额外设置控制器及走线空间,实现超小体积尺寸;一体化设计,内嵌式控制器,无需额外设置控制器及走线空间,实现超小体积尺寸;系统配备即时监控功能,可实时检测电机驱控系统、真空系统、侦测系统、循环系统等系统状态。