富创得隔离式密闭EFEM技术是什么？

富创得密闭式手套箱结构，可控制内部水、氧和金属离子含量，也可充气循环利用并控制内部压力；FOUP Load Port 气密性设计和接触式连接头充气专利技术；可适用于未来微纳米（<1nm）制程设备传输要求；富创得为全球唯一一家已经实现此技术的公司。