常见问题-大族富创得官网：SMIF | SORTER | EFEM | ROBOT | LOADPORT | VTM | ALIGNER | OCS | RETICLE

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富创得立式炉FTS模块，有哪些提升良率的优势？

产线高温热处理工艺，氧化、退火、LPCVD沉积，最担心的是腔体氧扰、颗粒污染影响良率，富创得立式炉FTS模块一方面采用闭环气路设计，抑制腔体内氧含量波动，保障薄膜沉积环境洁净；另一方面配置自主温控模块保障温场均匀，同时集成颗粒过滤+干式等离子清洗功能，减少腔体内污染源，从气体环境、腔体洁净两个维度降低工艺风险，从而进一步提升良率。
富创得PLM系列有哪些现场适配优势？

富创得PLM系列内置原厂Mapping检测系统，可识别叠片、斜片、凸片异常，从源头规避晶圆传输撞片碎片风险；设备符合SEMI标准，兼容6/8英寸晶圆，支持选配定制组件，可对接多种设备，对于老产线升级改造可提供多样化方案，灵活适配现场不同工况。
富创得前端自动化产品矩阵，能为工厂解决哪些完整场景诉求

富创得产品基本覆盖半导体所有制程工艺的搬运模块及整厂洁净物料自动化，包含：EFEM 设备前端模块、Sorter 晶圆分选机、SMIF、WTS 清洗机传输系统、FTS 炉管传输系统、LoadPort/OCS 装载口、传输机械手 Robot、Aligner 寻边器、VTM 真空传输模组、光罩 Reticle 系统、AMHS 物料搬运系统等。
大族富创得在研发和行业资质方面如何？

大族富创得一直积极投入研发，不断强化公司创新实力，累计获得全球创新专利超100项，研发人员占全球员工总数的33%，公司收益的21%用于研发投入，在国内陆续斩获各类相关行业及社会奖励资质，例如：“高新科技企业”，“科技小巨人企业”，“国家级专精特新企业”，“2023年中国瞪羚企业”，“SEMI-e 最佳新锐企业奖”，“上海集成电路行业协会理事单位”，“深圳市半导体与集成电路产业联盟(SICA) 理事单位”，“半导体行业协会（SEMI）会员”等，也是北方华创“精英合作伙伴”，参与了多项行业标准制定，如：国家标准《信息化和工业化融合管理体系中小型企业实施指南》，参与制定《半导体晶圆自动物料传送系统(AMHIS)通用技术要求》，参与制定《晶圆分选机(SORTER)通用技术要求》）等。
富创得的晶圆自动存储系统（Stocker）有哪些优势和特点？

富创得Stocker主要由绵阳富创得研发、生产，可配套AMHS，降低人力盘点的需求，实现自动化的物流管理，实现物料的统一管理，提高工作效率的同时减少人为错误；同时，模块化的设计，使组装调适更快，并可根据工况和客户需求定制制作；此外，可对接Fab厂内已有 OHT和AGV，补充已有AMHS体系，并可与富创得一同推出的载具搬运/便携货架式AGV联动，快速吞吐多个晶圆盒，效率更高。
无锡富创得主要做哪些产品？

无锡富创得智能科技有限公司是半导体自动化传输设备及核心部件提供商，主要生产设备包括：晶圆传输机器人ROBOT ，晶圆装载系统 LOAD PORT ，晶圆寻边器 ALIGNER和Open Cassette Station (OCS)；无锡富创得精密设备有限公司是半导体真空自动化传输设备及配套解决方案提供商，主要生产设备如：晶圆真空传输腔体(VTM)，真空传输机械手(VTM ROBOT)，为客户提供强有力的定制化解决方案。
富创得在国内的销售和服务覆盖哪些地区？

目前富创得在国内的销售分为华东、华北、华南、西南、西北，共五个片区，在上海/深圳/北京/武汉/青岛/杭州/绍兴/无锡/南通/天津/重庆等近30个城市设有本地客服中心，并随着业务的拓展和增长逐渐增加中。
富创得有做真空机械手吗？

大族富创得真空机械手主要是大族富创得旗下无锡富创得精密设备有限公司研发、生产、制造，具备强有力的客制化能力。
广泛应用于：PVD、CVD、蚀刻、光掩膜、CD-SEM、离子注入等工艺设备的真空转移领域。
浙江大族富创得科技有限公司

浙江大族富创得科技有限成立于2021年，是大族富创得全资子公司，位于浙江省嘉兴市平湖市新埭镇创新路139号，总占地面积：约17000㎡，目前拥有221多名员工，主要为研发和生产团队，其中研发人员占比30%。

主要生产设备：年产能3500台

晶圆标准机械界面(SMIF)

设备前端晶圆传输及存储系统(SORTER/EFEM)

超洁净光罩片/EUV自动化解决方案（Reticle Automation）

晶圆全自动化存储系统整体解决方案AMHS（AMR+STOCKER+OHT）

Open Cassette Station (OCS)
马来西亚富创得工程公司

马来西亚富创得工程公司是美国富创得工程公司全资子公司，是上海大族富创得孙子子公司，位于马来西亚槟城州峇六拜工业区第一期苏丹阿兹兰沙路27号，占地面积500㎡.

主要生产设备：晶圆标准机械界面(SMIF)，150-200mm晶圆自动开盒器 (PLM)等设备。
美国富创得工程公司和上海大族富创得是什么关系？是做什么的？

美国富创得工程公司成立于1979年，位于美国圣何塞，在美国硅谷和台湾均设有生产基地，占地面积：约5000㎡；
2016年被大族激光收购其在沈阳子公司-富创得科技（沈阳）有限公司，更名为上海大族富创得科技股份有限公司，后由上海大族富创得科技股份有限公司全资收购美国富创得工程公司，并迅速围绕中国、美国、欧洲、东南亚等区域扩张，实现研发，生产，销售，售后本土化，为全球战略布局打下夯实的基础。
Q：SMIF设备需要哪些维护?

A：SMIF系统需要定期对密封件、传感器和机械接口进行检查和维护；如果配备了自清洁气流系统，也应定期进行检查，以保持ISO1级洁净度标准；也可联系富创得官方售后团队进行定期维护。

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