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  • Q：富创得生产的SMIF适配哪些尺寸的晶圆和哪些类型的晶圆盒？
    A：富创得SMIF支持SEMI标准的150~200mm Wafer、Reticle (RSP)和EUV Pod等，可根据具体晶圆厂需求提供定制化选项，以满足不同晶圆尺寸兼容性要求。
  • Q：富创得生产的SMIF是否兼容OHT?

    A：富创得生产的SMIF产品均可对接天车OHT，已有47年成熟技术经验，并得到头部前200家以上企业充分验证。


  • EFEM

    EFEM

声明：本网站所展示产品外观、参数、性能描述、对比数据等均来自大族富创得内部实验室自有产品的检测和实验，仅供参考，以实物及实际参数为准，不做为法律依据。

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